自社開発したアルミナ基板、サファイア基板、シリコンウェーハ、ガラス、強化ガラスなどへの加工を目的としたレーザー加工機を販売。
◆レーザスクライバー SS-3001G2
固体レーザ光(波長:1064nm)により電子部品基板(主にアルミナ基板)のスクライブ加工を実施。
◆標準スペック
対象ワークサイズ:50o×60o
ローダ・アンローダワークセット数:100枚
加工位置アライメント機能
加工高さ自動制御機能
表裏アライメント機能
◆LED用レーザ装置
固体レーザ光(波長:355nm、266nm)によりLED、LD用基板の加工を実施。対応材質はサファイア、ガリュウムナイトライド、シリコンカーバイト。
◆標準スペック
対象ワークサイズ:4インチまで
搬送用ロボット
加工位置アライメント機能
ワーク厚み補正機能
レーザ出力管理機能
◆強化ガラス・ガラス用レーザー装置
ステルスダイシングエンジン(浜松ホトニクス社開発)を搭載し、精密・高精度な加工が難しいと言われている、強化ガラス、ガラス、光学部品への切断加工を実施。
◆加工概要
Glass基板
化学強化済みGlass基板
膜付Glass基板
コーナーR加工
100um以下の薄いGlassの加工