株式会社ミツトヨ http://www.mitutoyo.co.jp/
対物レンズ
対物レンズでは微細なレーザー加工を目的とするため、高出力のレーザーで使用することはできません。照射エネルギー密度（レーザー出力）とパルス幅の許容範囲を超えないようにご注意ください。
※レーザーのパルス幅が短くなる場合、照射エネルギー密度（レーザー出力）はパルス幅の割合の平方根だけ対応出力が低くなります。例えばパルス幅が10nsから2.5ns（4分の1）になった場合、エネルギー密度（レーザー出力）の対応出力は0.2J/cm2から0.1J/cm2（2分の1）程度になります。
◆M Plan Apo NIR（近赤外補正対物レンズ）
対応レーザー波長と対応出力・パルス幅
1064nm 出力：0.2J/cm2 パルス幅：10ns
532nm 出力：0.1J/cm2 パルス幅：10ns
◆M Plan Apo NUV（近紫外補正対物レンズ）
対応レーザー波長と対応出力・パルス幅
532nm 出力：0.1J/cm2 パルス幅：10ns
355nm 出力：0.05J/cm2 パルス幅：10ns
◆M Plan UV（紫外補正対物レンズ）
対応レーザー波長と対応出力・パルス幅
266nm 出力：0.04J/cm2 パルス幅：10ns
レーザー加工用顕微鏡ユニット
対物レンズと同様、微細加工用。照射エネルギー密度（レーザー出力）とパルス幅の許容範囲は対物レンズと同程度で使用するようにしてください。
◆VMU-L
YAGレーザー発振機は基本波（1064nm）、第二高調波（532nm）、第三高調波（355nm）を搭載可能。
◆VMU-L4
YAGレーザー発振機は第二高調波（532nm）、第四高調波（266nm）を搭載可能。