コヒレント・ジャパン株式会社 http://www.coherent.co.jp/
NovaTube技術やコロナ予備放電技術により、長期のガス及びチューブ寿命を実現。産業用途から開発研究用途まで豊富なラインナップ。
取扱製品
ExciStar S-Industrialシリーズ
安定したビームを高繰返しで運転できる小型のエキシマレーザー。用途としては、実験・研究・開発、テフロンマーキング、コールドマーキング、眼科治療（LASIK：レーシック）。
波長 193nm 繰返周波数1000Hz 平均出力8W
波長 248nm 繰返周波数1000Hz 平均出力12W
波長 308nm 繰返周波数1000Hz 平均出力8W
波長 351nm 繰返周波数1000Hz 平均出力?W
ExciStar XSシリーズ
設置が簡単な超小型設計のエキシマレーザー。レーザーガス寿命の延長化を実現。用途としては、実験・研究・開発、テフロンマーキング、コールドマーキング、眼科治療（LASIK：レーシック）。特に眼科治療（LASIK：レーシック）において大きなシェアを誇っている。
波長 157nm 繰返周波数200〜500Hz 平均出力0.1〜0.25W
波長 193nm 繰返周波数200〜500Hz 平均出力1.0〜2.5W
波長 248nm 繰返周波数200〜500Hz 平均出力1.6〜4.0W
波長 351nm 繰返周波数200〜500Hz 平均出力0.8〜2.0W
BraggStar S-Industrialシリーズ
干渉性を利用したアプリケーションに適応させるため、コヒレント長を最適化。微細加工や計測に最適な小型のエキシマレーザー。用途としては、実験・研究・開発、ファイバーグレーティング作成、干渉露光テスト、レジスト検査。
波長 193nm 繰返周波数1000Hz 平均出力7W
波長 248nm 繰返周波数1000Hz 平均出力10W
Xantos XSシリーズ
レーザーガスシリンダーを本体に内蔵しているため安全で初期導入コストの削減を実現した小型・高性能エキシマレーザー。用途としては、実験・研究・開発、計測・検査、小型コンポーネントへのマーキング。
波長 157nm 繰返周波数500Hz 平均出力0.5W
波長 193nm 繰返周波数500Hz 平均出力2.5W
波長 248nm 繰返周波数500Hz 平均出力4.0W
波長 351nm 繰返周波数500Hz 平均出力2.0W
COMPexProシリーズ
高品位なレーザー光を高パルスエネルギーで照射するコンパクトなエキシマレーザー。用途としては、パルスレーザー蒸着、マイクロドリリング、医療用途、材料ストリッピング・耐性検査。
波長 157nm 繰返周波数10〜100Hz 平均出力0.8W
波長 193nm 繰返周波数10〜100Hz 平均出力4〜15W
波長 248nm 繰返周波数10〜100Hz 平均出力5〜35W
波長 308nm 繰返周波数10〜100Hz 平均出力3.5〜20W
波長 351nm 繰返周波数10〜100Hz 平均出力3〜15W
LPXProシリーズ
高品位なレーザー光を高出力で照射する産業用途対応のエキシマレーザー。用途としては、高精度マイクロマシニング、光学素子評価、インクジェットノズル穴加工、レーザーパターニング。
波長 157nm 繰返周波数50〜200Hz 平均出力2.5〜7.0W
波長 193nm 繰返周波数50〜200Hz 平均出力25〜50W
波長 248nm 繰返周波数50〜200Hz 平均出力50〜90W
波長 308nm 繰返周波数50〜200Hz 平均出力35〜50W
波長 351nm 繰返周波数50〜200Hz 平均出力15〜35W
NovaLine100シリーズ
高品質、高信頼性の産業用エキシマレーザー。用途としては、高精度マイクロマシニング、光学素子評価、インクジェットノズル穴加工、有機ELプロセッシング。
波長 248nm 繰返周波数250Hz 平均出力100W
LAMBDA SXシリーズ
大出力超高安定性産業用エキシマレーザー。用途としては、レーザーアニーリング、精密マイクロドリリング、パルスレーザー成膜（PLD）、各種微細加工。
波長 248nm 繰返周波数300Hz 平均出力200〜300W
波長 308nm 繰返周波数300〜600Hz 平均出力200〜480W