Lumonics社(カナダ)のレーザ発振器の技術を継承。研究開発用途から量産用途まで幅広いラインナップ。用途としてはパターンカットやセラミックスの微細加工等。
試作・開発用のエキシマレーザー。
波長 193nm 平均出力3〜30W
波長 248nm 平均出力10〜80W
波長 308nm 平均出力6〜50W
波長 351nm 平均出力6〜45W
試作・量産用のエキシマレーザー。
波長 193nm 平均出力3〜30W
波長 248nm 平均出力10〜80W
波長 308nm 平均出力6〜50W
波長 351nm 平均出力6〜45W
量産用のエキシマレーザー。
波長 193nm 平均出力3〜30W
波長 248nm 平均出力10〜80W
波長 308nm 平均出力6〜50W
波長 351nm 平均出力6〜45W