キヤノン株式会社 http://cweb.canon.jp/indtech/es/dgscanner/index.html
角度位置検出にキヤノン独自の高精度ロータリーエンコーダを使用し、ガルバノミラーの制御に最適化した高速・高精度レーザースキャナー。フルデジタルサーボコントロールにより高い位置再現性を実現。ガルバノモーター制御用のソフトウェアはあるが、レーザー制御は同期していない。
取扱製品
対応軸数1軸
FS-1AG10
小径ミラーの高精度位置決め及びラスタースキャン用。指令分解能3.07μrad、位置再現性2.5μrad、スキャン角度±15°。
FS-1AG15
中径ミラーの高精度位置決め及びラスタースキャン用。指令分解能2.05μrad、位置再現性2.5μrad、スキャン角度±15°。
FS-1M30
中径ミラーの高精度位置決め及びラスタースキャン用。回折干渉方式エンコーダとデジタルサーボコントローラの採用により温度特性に優れ、高度な位置決め精度と整定速度の高速化を同時に達成。指令分解能0.036μrad、位置再現性5.0μrad、スキャン角度±10°。
FS-1M100
大径ミラーの高精度位置決め及びラスタースキャン用。回折干渉方式エンコーダとデジタルサーボコントローラの採用により温度特性に優れ、高度な位置決め精度と整定速度の高速化を同時に達成。高速・高精度が要求されるガルバノユニットに最適。指令分解能0.036μrad、位置再現性5.0μrad、スキャン角度±10°。
対応軸数2軸
LS-2M40
大径ミラーの高速・高精度位置決め用。XY2軸対応。指令分解能0.033μrad、位置再現性10μrad、スキャン角度±10°。