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安川電機のサーボモーター技術を応用したデジタルガルバノシステム。22bit/rev（4,194,304パルス/回転）エンコーダを採用し、超高精度位置決めを実現。最大3軸のガルバノスキャナとレーザーが同期した制御が付属ソフトウェアによって容易に可能。ガルバノスキャナの3軸制御により、fθレンズを使用しないで1000mm四方超の広範囲加工を高速・高精度に実現。
取扱製品
対応軸数2〜3軸
miramotion
オールデジタルガルバノスキャナシステム。2軸から3軸へは容易に変更可能。ガルバノモーターはミラーの取り外しが可能で、ドライバ調整をすれば別ミラーへの交換も可能。Windows対応のAPIにより制御、VisualStudio6.0以降対応。指令分解能1.5μrad、位置再現性1.5μrad、スキャン角度±20°。